ionLiNE 是一种新颖的离子束光刻和纳米制造及加工平台，主要用于表面科学、薄膜工程及应用物理研究等的低剂量应用。具备尖端纳米光刻系统结构设计的ionLiNE，代表了新一代研发设备。
作为专用的离子束纳米光刻、制造及加工设备的ionLiNE，为研发人员获得极佳的实验结果提供了极其难得的机会。拥有专利权的NanoFIB TM聚焦离子光学系统保证了高级和自动图形成像所需的长时间的束流稳定性。低束斑拖尾确保了高选择性。结合激光干涉控制工作台，还可应用于更大面积的加工。 Key applications - Low dose ion events
- Thin film engineering
- Surface functionalisation
- Localised defect injection
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