紧凑式激光干涉控制工作台 (Compact laser interferometer controlled stage)

被极大提高的定位精确度，具有拼接( )和高精度 (混合光刻)功能的自动曝光机,带有干涉仪的闭路控制的压电式直流电机混合技术，完全独立与SEM和FIB的设置，因而对于CLS定位精度不需再度校准。

CLS是适用于众多SEM和FIB单透镜设备，也可用与全新设备。但无论在哪种情况下，即使在项目预算初期，都要对设备和相应投资进行全面的评估和讨论。

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